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ノベルクリスタルテクノロジー×信州大×産総研 6インチβ型酸化ガリウム作製に世界初成功

㈱ノベルクリスタルテクノロジーは信州大学や産業技術総合研究所(産総研)と共同で、垂直ブリッジマン(VB) 法による6インチβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶の作製に世界で初めて成功した。自動車の電動化や空飛ぶクルマなどの電気エネルギーの高効率利用への貢献が期待できる。

3社は「今後は、VB法による高品質単結晶育成技術の開発を継続するとともに、VB法の特長である成長面方位の柔軟性を生かした基板開発に取り組む」とコメントしている。