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阪大に企業との共同研究部門「先端機能材料加工基盤技術」

大阪大学は㈱ジェイテックコーポレーションと、阪大・理化学研究所科学技術融合研究センターに「先端機能材料加工基盤技術(ジェイテックコーポレーション)共同研究部門」を設立した。今年7月1日付で新設され、設置期間は2028年3月31日まで。

同共同研究部門では、放射光施設向け高精度エックス線ミラーに対する国内外の大型放射光施設やX線自由電子レーザー施設からの超高精度化の要望に応えるため、また高精度ミラーの宇宙分野や半導体分野への進出に向けて、さらなる超精密加工・計測技術の研究開発、性能向上を目指す。

またさらなる目的として、主に半導体・電子デバイス等の性能向上を図り、先端機能材料に対する加工基盤技術の高度化を目指します。特に、将来における高い市場ニーズが期待される半導体製造分野等でのナノレベルの超精密加工・計測技術の研究開発を推進する。

一例としては、阪大での研究成果をもとに㈱ジェイテックコーポレーションで事業化を推進している先端的表面加工技術「プラズマ化学気相加工法(PlasmaCVM)」、「プラズマ援用研磨法(PAP)」、「触媒基準エッチング法(CARE)」等の性能向上につながる技術的課題の解決に向けて取り組む。