文教速報デジタル版

BUNKYO DIGITAL

文教速報デジタル版

BUNKYO DIGITAL
東北大がNEDO事業に参画 「Beyond2nm及び短TAT半導体製造に向けた技術開発」

国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は、技術研究組合最先端半導体技術センター(LSTC)が提案した「Beyond2nm及び短TAT半導体製造に向けた技術開発」を採択した。東北大学もこれに参画することを発表している。

「Beyond2nm及び短TAT半導体製造に向けた技術開発」では、半導体製造で世界が目標とする2nm世代よりもさらに高性能な半導体の実現を目指す。

同大は事業で特に「1nm以細に拡張可能な Beyond2nmデバイスプロセス要素技術開発」及び「Beyond 2nm 半導体の応用範囲拡大を可能とする短 TAT・クリーンプロセス装置技術開発」の事業に加わるという。