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50㍉サイズのマグネシウムシリサイド単結晶 茨城大・名大共同研究Gが開発成功

茨城大学の鵜殿治彦教授と名古屋大学の共同研究グループは、直径50ミリサイズのマグネシウムシリサイド(Mg₂Si)半導体単結晶の育成に成功した。この成果は、短波赤外域の受光センサやイメージセンサをMg₂Siを用いて作製するための基板結晶を実現する技術として期待される。

共同研究グループは、データ駆動科学に基づくアプローチによってMg₂Si結晶の大口径化に取り組んだ。Mg₂Si結晶の成長実験と成長シミュレーション、結晶評価データを組み合わせることで限られた実験回数により成長条件を適正化。短期間に直径50ミリサイズの高品質Mg₂Si単結晶を実現した。

今後について研究グループは「研究チームは、JX金属株式会社とMg₂Si単結晶について共同で研究開発を進めており、本成果によって直径50ミリサイズのMg₂Si基板ウエハの実用化に向けた開発が加速されることが期待される」とコメントしている。