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産総研が「先端半導体研究センター」設立 研究開発から社会実装、人材育成まで

産業技術総合研究所(産総研)は、1日に新たに先端半導体研究センター(SFRC)を設立した。先端半導体向けの材料、デバイス、プロセス、設計、環境負荷評価の研究開発を実施する。ゲートオールアラウンド(GAA)構造を含む3次元デバイスを作製できる共用パイロットラインを運営。研究開発と試作サービスを一体として実施するオープンイノベーション拠点としての役割が期待されている。

研究センターの特徴は、研究開発、共用パイロットラインの構築、社会実装、人材育成を一貫して推進することにあるという。ここでは「2ナノメートル世代以降に向けた極限デバイス・材料開発」「微細化によらずに性能を向上する3次元集積技術」「半導体製造の環境負荷評価およびグリーン化」など5点について特に取り組む。

産総研は「研究開発と試作サービス提供、人材育成を一体として実施することにより、先端半導体のオープンイノベーションを推進する中核拠点となることを目指す」としている。